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立式化学气相沉积炉(沉积炭)
产品描述:
立式化学气相沉积炉(沉积炭)可用于以碳氢气体(如C3H8等)为碳源的材料表面或基体等温CVD/CVI处理。
应用范围:

立式化学气相沉积炉(沉积炭)技术特征

根据炉膛尺寸与结构设置温区,温度均匀性好;

采用特殊结构沉积室,密封效果好,抗污染能力强;

采用多通道沉积气路,流场均匀,无沉积死角,沉积效果好;

对炭沉积过程中产生的焦油、固体粉尘、有机气体等能进行有效的处理。

立式化学气相沉积炉(沉积炭)产品规格

参数\型号VCVD-0305-CVCVD-0608-CVCVD-0812-CVCVD-1015-CVCVD-1120-CVCVD-1520-CHCVD-151530-C
工作区尺寸D×H(mm)Φ300×500Φ600×800Φ800×1200Φ1000×1500Φ1500×2000Φ1500×2000Φ2600×3200
最高温度(℃)1500150015001500150015001500
温度均匀性(℃)±5±5±7.5±7.5±10±10±15
极限真空度(Pa)50505050505050
压升率(Pa/h)0.670.670.670.670.670.670.67

以上参数可根据工艺要求进行调整,不作为验收依据,具体以技术方案和协议为准。

立式化学气相沉积炉(沉积炭)配置选择

炉门:丝杠升降/液压升降/手动升降;手动锁紧/自动锁圈锁紧      

炉壳:全碳钢/内层不锈钢/全不锈钢

炉胆:软碳毡/软石墨毡/硬质复合毡/CFC  

加热器、马弗:等静压石墨/模压三高石墨/细颗粒石墨

工艺气路系统:体积/质量流量计;手动阀/自动阀;进口/国产     

真空泵和真空计:进口/国产

人机界面:模拟屏/触摸屏/工控机                         

PLC:欧姆龙/西门子

控温仪表:日本岛电/英国欧陆           

热电偶:C分度号/S分度号/K分度号/N分度号

记录仪:无纸记录仪/有纸记录仪;进口/国产   

电器元件:正泰/施耐德/西门子

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