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碳化硅氮化硅烧结炉
产品描述:
碳化硅氮化硅烧结炉可用于SiC陶瓷制品的反应烧结、无压烧结、重结晶烧结、热等静压烧结,也可用于氮化硅等其他陶瓷制品的烧结。
应用范围:

碳化硅氮化硅烧结炉技术特征

采用电阻加热,设置温区补偿或多区控温,温度均匀性好;

采用opebet体育科技专属超高温、大电流引电技术,能在2400℃条件下长时间稳定使用;

采用特殊的高温红外测量技术,控温准确,误差小;

配置专属密封马弗,产品产生的硅蒸汽等副产物对加热器及绝缘材料等的污染小;

采用专用尾气处理装置,环境友好,易清理;

可选择配置脱脂系统,实现陶瓷制品的脱脂烧结一次性处理。

碳化硅氮化硅烧结炉产品规格

参数\型号SICS-040406SICS-060609SICS-080812SICS-101015SICS-121225SICS-151530
工作区尺寸 W×H×L(mm)400×400×600600×600×900800×800×12001000×1000×15001200×1200×25001500×1500×3000
最高温度(℃)240024002400240024002400
温度均匀性(℃)±5±5±7.5±7.5±10±10
极限真空度(Pa)505050505050
压升率(Pa/h)0.670.670.670.670.670.67
工作区长度尺寸(mm)4000/5000(非标定制)

以上参数可根据工艺要求进行调整,不作为验收依据,具体以技术方案和协议为准。

碳化硅氮化硅烧结炉配置选择

炉门:手动锁紧/自动锁圈锁紧                                 

炉壳:全碳钢/内层不锈钢/全不锈钢

炉胆:软碳毡/软石墨毡/硬质复合毡/CFC   

加热器、马弗:等静压石墨/模压三高石墨/细颗粒石墨

真空泵和真空计:进口/国产   

PLC:欧姆龙/西门子

控温仪表:日本岛电/英国欧陆     

热电偶:C分度号/S分度号/K分度号/N分度号

红外仪:单比色/双比色;千野/雷泰     

记录仪:无纸记录仪/有纸记录仪;进口/国产

人机界面:模拟屏/触摸屏/工控机   

电器元件:正泰/施耐德/西门子

料车:滚道式/叉车式

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